Удаленные примеси: H2O, O2, CO, CO2, CnHm
- Процесс очистки: хемосорбция + адсорбция
- Принцип: газ проходит через специальный катализатор и слой адсорбента, где происходит удаление примесей.
- Основная область применения: полупроводниковая промышленность, сварочный газ, защитные газы....
Техническая информация:
- Давление: до 380 барг
- Уровень примесей на выходе: < 10 ppb Полуавтоматическая или автоматическая версия (HMI/PLC)
---