Удаленные примеси: O2, H2O, H2
- Процесс очистки: адсорбция + катализ
- Принцип: газ проходит через специальный катализатор и слой адсорбента, где происходит удаление примесей.
- Основная область применения: полупроводниковая промышленность, сварочный газ, защитные газы..
Техническая информация:
- Давление: до 380 барг
- Уровень примесей на выходе: < 10 ppb
- Полуавтоматическое или автоматическое исполнение (HMI/PLC)
---