Субтронный азот - это газ, обработанный инертными газами, который содержит N2, HE, AR, KR, XE, NE. Примеси, которые могут быть удалены - это O2, CO, CO2, CO2, H2O. Он имеет одинарный уровень примесей на выходе ppb и может быть либо каталитическим, либо абсорбционным. Сырые газы проходят через специальный катализатор и адсорбирующий слой, в котором удаляются примеси.
---