Контроллер массового расхода SFC3000 обеспечивает быстрое и точное управление потоками газа в широком диапазоне. Его высокая точность и быстрое время установления основаны на инновационной технологии CMOSens®. Благодаря этому сигнал датчика с цифровой калибровкой и температурной компенсацией преобразуется непосредственно в сигнал, который используется в цифровой схеме управления для управления клапаном.
SFC3000 - это небольшой, полностью цифровой контроллер массового расхода для крупносерийных OEM-приложений. Его превосходная стабильность и воспроизводимость делают его идеальным для аналитических приборов. Различные типы газов и диапазоны регулирования могут быть откалиброваны и переключены с помощью программного обеспечения.
Технические характеристики
Массовый расход
Точность - ±0.2sccm ± 2% SP - - -
Порты для жидкостных разъемов - Встраиваемые - - -
Generic
Напряжение питания - 14,25 - 15,25 - В - -
Макс. ток питания - 330000 - мкА - -
Интерфейсы - RS485 - - -
Размер (ДхШхГ) - 70 x 25 x 73 - мм³
---