Системы формирования луча для микрообработки
SCANLAB сотрудничает с Pulsar Photonics в рамках партнерства по разработке и продаже более высокоинтегрированных сканирующих решений для микрообработки. Рынок приложений USP (ультракороткоимпульсных лазеров) продолжает расти, и основные задачи часто основаны на желаемом увеличении производительности. На этот спрос можно ответить путем распараллеливания лазерных процессов, например, с помощью многолучевых систем, в многочисленных приложениях.
Расширение Microscan Extension (MSE)
Расширение Microscan Extension можно назвать "лазерным ножом 1 мкм". Эта сканирующая головка расширяет систему сканирования до микроточечной сканирующей головки.
Комбинация сканера и MSE позволяет выполнять высокоточную микрообработку: Диаметр фокуса составляет менее 4 мкм, в УФ диапазоне длин волн даже менее 1,5 мкм
MultiBeamScanner (MBS)
MultiBeamScanner позволяет проводить параллельные процессы лазерной резки, сверления и абляции. Благодаря использованию дифракционных оптических элементов (DOE) падающий лазерный луч разделяется на различные конфигурации частичных лучей, так что несколько лазерных пятен могут работать одновременно в одном поле изображения. Таким образом, можно одновременно обрабатывать несколько компонентов или быстрее создавать сложные структуры. Комбинируя его с XL SCAN, можно еще больше увеличить скорость параллельной обработки и точность.
FlexibleBeamShaper (FBS)
FlexibleBeamShaper - это интегрируемая в машину система формирования луча, которая может генерировать заданные пользователем распределения луча. Электронно-управляемый оптический фазовый модулятор превращает FBS в "фотонный набор инструментов", оснащенный различными предопределенными формами пучка.
---