Текстурирующая машина для полупроводниковых пластин SC-CSZ12000F-16G

Используется для текстурирования и очистки монокристаллических пластин. Технологический процесс: Удаление повреждений пилой→Предварительная очистка→Монотекстурирование→Послеочистка→Очистка O3→Кислотная очистка→Сушка горячей водой→Сушка (только для справки) - Производительность: 600шт/пакет, 12000шт/ч-210 пластин (100шт кассета), 720шт/пакет, 15000шт/ч-182 пластин (120шт кассета). - Объем циркуляции технологической ванны регулируется. - Равномерная текстура пирамид, регулируемая глубина травления. - Чистая сухая зона и система самоочистки. - Низкое потребление H2O2. - Быстрая смена ванны. - Поставляется с системой MES, системой RFID, опционально - поточное весовое тестирование.