Используется для удаления и очистки диффузионных кремниевых пластин.
Технологический процесс
Удаление обмотки→После очистки→Кислотная очистка→После очистки→Кислотная очистка→Сушка горячей водой→Сушка (для справки)
- Производительность: 400шт/пакет, 9600шт/ч (210мм пластины), 480шт/пакет, 12000шт/ч (182мм пластины).
- Доступны различные технологии добавок.
- Толщина пластин до 120 мкм.
- С зоной сухой очистки и системой самоочистки.
- Быстрая смена ванны.
- Доступны MES, система RFID, опционально - поточное весовое тестирование.
---