Напольная газоочиститель PS5 Series

с фильтромаргон

Очистители редкого газа PS5 MegaTorr нагретые основанные на геттер очистители конструированные специфически для того чтобы обеспечить ультравысокий газ гелия или аргона очищенности (UHP) для применений полупроводника. Запатентованный сплав геттера работает в условиях повышенной температуры для того чтобы извлечь примеси путем формировать необратимые химические соединения. Извлекли примеси, который не будут выпущены при любых обстоятельствах когда очиститель будет управляться в пределах спецификации. Уровни примеси выхода для O2его, H2O, CO, СО2, H2, CH4 (THC или полные углероды) и N2 уменьшены к частям в миллиард концентраций. Эти очистители конструированы для того чтобы продолжать множественные леты, но продолжительность жизни зависит от концентрации примеси входа и среднего расхода потока. Пожалуйста контактируйте фабрику для вычислений продолжительности жизни. Как только столбец уничтожен его можно заменить на новый столбец, для новой продолжительности жизни. По потоку нагретых столбцов геттера, примеси водопода извлекаются запатентованным вторичным патроном геттера температуры окружающей среды, известным как блок удаления водопода (HRU).