Машина для нанесения покрытий тонких слоев PD-1022/UD

Внутренние и легированные пленки аморфного кремния. Процессы Ионизированные газы-предшественники наносят тонкие пленки на подложку. - Быстрое радиочастотное зажигание с минимальной мощностью отражения для равномерного и стабильного осаждения пленок. - Отработанная и стабильная многократная подача по технологии RF, совместимая даже с большой технологической камерой. - Непрерывный регулируемый газ между диффузором и подложкой обеспечивает гибкие технологические возможности. - Высокая производительность при относительно низкой стоимости, возможность индивидуального проектирования. - Модулированная конструкция для простоты установки и обслуживания, а также высочайший уровень безопасности от проектирования до производства.