CMP-тестер для контролируемой полировки, эффективной
разработки процессов и тестирования полировальных материалов.
Основные характеристики:
Коэффициент трения в реальном времени
Контролируемое усилие прижима и скорость
Встроенный 3D профилометр
Возможность установки пластин различных размеров
Встроенная температура и акустическая эмиссия для изучения процесса
Продвигайте свои технологические процессы и разработку продукции с помощью нашего полировальника CMP R&D. Мы оптимизировали разработку продукции, предоставив несколько процессов полировки на одной платформе. Эти процессы включают широкий диапазон скоростей, замкнутую систему управления прижимной силой, универсальные держатели пластин и автоматическую систему подачи шлама. Кроме того, тестер CMP отслеживает несколько сигналов в линии во время процесса полировки.
Помимо полировки пластин и подложек, тестер оснащен встроенным профилометром поверхности. Эта комбинация позволяет определить, как изменилась поверхность, трение, износ поверхности и почему возникают дефекты.
Характеристики
Непревзойденная технология и скорость работы тензодатчика
В процессе полировки измерения силы в линии с высоким разрешением позволяют количественно оценить межфазное взаимодействие. Для оптимизации процесса CP-5000 обеспечивает полный контроль силы прижима. Это включает в себя скорость и скорость потока в соответствии с индивидуальными протоколами испытаний.
Кондиционер подушечек
Самовыравнивающийся держатель кондиционера для верхних подушечек с активным вращением и горизонтальными колебаниями.
Вмещает кондиционер размером от 0,5 до 4,25 дюйма
Надежность и точность
Каждый тестер CMP Tester универсален и имеет множество датчиков и температурных опций. Моторизованный XY-станок обеспечивает быструю замену, позволяя легко получать значимые данные.
Простота использования
CP-5000 поставляется с держателями для быстрой замены. В результате достигается быстрая и простая установка пластин и подложек.
---