Что такое энкодер RESOLUTE UHV?
энкодеры RESOLUTE UHV используют технологию абсолютного энкодера для измерения сверхвысокого вакуума, что позволяет повысить производительность, снизить риск повреждения и повысить надежность.
энкодер RESOLUTE превосходит все другие абсолютные энкодеры, предназначенные для работы в условиях сверхвысокого напряжения. Энкодер RESOLUTE обладает разрешением 1 нм и скоростью до 100 м/с и обеспечивает характеристики, открывающие новые горизонты в области энкодерной технологии.
Что такое шкала RELA30?
RELA30 - это линейка из сплава ZeroMet, сплава никеля с низким расширением и железа, с абсолютным кодом шкалы с шагом 30 мкм
Он сравним со стеклянными шкалами с малым шагом и обеспечивает общую точность (включая наклон и линейность) от ±1 мкм до 1 м в длину. ZeroMet имеет коэффициент теплового расширения 0,75 ±0,35 мкм/мкм/°C при 20 °C.
Разработчики системы могут выбирать между специально разработанной клейкой лентой, совместимой с UHV, и механическими зажимами в соответствии с требованиями к монтажу. Оба способа монтажа позволяют осуществлять независимое тепловое расширение до уровня подложки.
---