BatchGlass LF HTX - это полуавтоматический инструмент для мокрой обработки стеклянных подложек. На этом оборудовании можно обрабатывать подложки от небольших пластин до панелей размером 600 x 600 мм. В рамках пакетных процессов можно травить, очищать и сушить панели размером до 600 x 600 мм. Травление в специальных условиях обеспечивает очень высокую селективность травления. RENA предлагает специальные процедуры предварительной и последующей очистки, позволяющие подготовить подложки к травлению и интенсивно очистить их после травления. Процедуры последующей очистки становятся чрезвычайно важными для стеклянных подложек с небольшими и глубокими полостями. Продуманная конструкция резервуара и оптимизированный поток обеспечивают превосходную однородность травления. Это имеет решающее значение для комбинированных применений лазера и травления, таких как сквозные стеклянные отверстия (TGV) для упаковочной промышленности.
Особенности и преимущества
Обработка широкоформатных панелей до 600 x 600 мм
Оптимизированная конструкция резервуара и поток для превосходной однородности травления
Оптимизированная площадь и компактный дизайн
работа в режиме 24/7 и легкое расширение технологического процесса
Высочайшая чистота поверхности с оптимизированной предварительной и последующей очисткой
---