ArgonØ ™ рециркулирует газ в замкнутом цикле от ограниченного числа технологических инструментов, что дает большое преимущество по сравнению с потенциальными установками на всей территории завода, позволяя легко и просто модернизировать существующие заводы по производству вафель, а также поэтапно устанавливать их в соответствии с технологическими инструментами на новых предприятиях "с нуля".
ArgonØ ™ рециркулирует >95% отработанного газа из печи обратно в процесс с уровнем чистоты, превышающим требования Semi PV6-1110, удаляя 1000 ppm загрязнений в процессе.
Система ArgonØ ™ предназначена для восстановления, очистки и рециркуляции продувочного газа из вакуумных печей CZ и DS, используемых для выращивания кремниевых слитков для последующего изготовления кристаллических солнечных элементов. Система уникально справляется как с герметичными масляными, так и с сухими вакуумными насосами, используемыми для откачки воздуха из печей, и использует технологию, разработанную совместно с Кембриджским университетом, которая обеспечивает степень рециркуляции не менее 95%. Чистота перерабатываемого газа аргона превышает стандарт SEMI PV6-1110.
Система является точечной и может подключаться к нескольким вакуумным печам, при условии, что максимальный расход рециркуляции составляет около 15 Нм3/час, что позволяет легко модернизировать существующие вакуумные печи, а также поэтапно устанавливать их на новых предприятиях в соответствии с установкой вакуумных печей.
При окупаемости инвестиций (ROI) в 2-3 года ArgonØ ™ представляет собой отличное соотношение цены и качества, а в тех случаях, когда гелий также перерабатывается, окупаемость инвестиций еще больше увеличивается и составляет, как правило, 6-12 месяцев. Кроме того, ArgonØ™ снижает выбросы CO2 в атмосферу типичной вакуумной печи на 3-5 тонн в год, а также повышает надежность поставок.
---