Анализатор для кислорода EXTREL™ VeraSpec™ APIMS

COCH4для воды

Наш ионизационный масс-спектрометр атмосферного давления (APIMS) EXTREL™ VeraSpec™ предназначен для надежного и воспроизводимого определения низких пределов обнаружения частей на триллион для контроля загрязнений в газах сверхвысокой чистоты (UHP), используемых в полупроводниках и других высокотехнологичных промышленных приложениях. Загрязнения стоят дорого, и вот уже более 20 лет APIMS является научным и промышленным стандартом для оперативного обнаружения низкоуровневых компонентов газовых смесей. В анализаторе VeraSpec APIMS используется 19-мм квадрупольный масс-фильтр с тремя фильтрами для анализа полупроводниковых газов, что обеспечивает наилучшую производительность, надежность и время работы. Лучшие в отрасли нижние пределы обнаружения (НПО) для анализа сыпучих газов Многовидовой мониторинг в реальном времени ВСЕХ критических примесей в сыпучих газах, включая следы O2, H2, H2O, CH4, CO, CO2, Xe и др Хорошо зарекомендовавшая себя, мощная технология масс-спектрометрии Беспрецедентный диапазон измерений от PPT до 100% благодаря уникальной конфигурации с двумя источниками ионизации Производителям полупроводников необходима возможность непрерывной проверки чистоты технологических газов в режиме реального времени и обнаружения следов загрязнения при концентрациях в пределах низких частей на триллион (ppt). Мониторинг широкого спектра газов и газовых смесей со стабильностью, обеспечивающей долгосрочную воспроизводимость, необходимую в большинстве приложений. Спросите о нашем APIMS SX5 с возможностью переключения потоков.