Координатный стол большого формата H116

XYмеханизированный2 оси

Стенд H116/2 предназначен для сканирования полупроводниковых пластин, фотомасок, плоских дисплеев и печатных плат диаметром до 200 мм (8 дюймов). Он также имеет 10-дюймовый ход по оси X для безопасной загрузки образцов и совместим с приложениями для работы в проходящем свете. Кроме того, стойка выдерживает нагрузку 25 кг, что позволяет точно позиционировать крупные и сложные промышленные образцы в таком большом диапазоне перемещений. Благодаря запатентованной технологии интеллектуального сканирования (IST), оптимизирующей точность, линейность и другие рабочие характеристики, в сочетании с 2-мм шарико-винтовой передачей для повышения скорости, HE12/2ST оптимизирован для надежного и эффективного сканирования очень больших промышленных образцов. В зависимости от региона могут быть доступны альтернативные конфигурации привода для дальнейшего увеличения скорости.