« Рестриктивные продукты подачи (RFP) рестриктивные отверстия подачи с одиночным отверстием или спеченные ограничители подачи металла с сотнями небольшого, микроном определили размер переходные люки. Эти ограничительные приспособления подачи используемые для предотвращения бесконтрольной подачи газов процесса полупроводника особой чистоты.
Ограничительные приспособления подачи установлены в системы снабжения сжатого газа или в распределительные магистрали газа для того чтобы контролировать высокий шип подачи газа. Неумышленная высокая подача газа может быть причинена повреждением линии поставки газа, работая неправильно клапана или отказа регулятора давления.
Наше Sinterflo® спекло ограничители подачи металла сильно надежно, низкая цена, контрольные части регулирования потока которые обеспечат быструю рентабельность инвестиций для диапозона применения. Эти можно изготовить от нержавеющей стали 316L, никеля, Hastelloy® C22, Hastelloy® C276 и других материалов температуры и коррозионностойких.
Индустрия полупроводника, здание и соответствие кода огня
RFP могут помочь в исполнять с SEMI директивами безопасности S5-0310 для определения размеров и определять ограничительные приспособления для клапанов баллона, стандарт подачи NFPA 318 для защиты объектов изготовления полупроводника, хранения CGA G-13 и регуляции силана и другой безопасности standards. \ /html газа»
---