- Платформа для перемещения диаметром 365 мм, апертура диаметром 260 мм
- Эксцентриситет и плоскостность < 300 нм
Обзор продукции
Вращающиеся ступени с прямым приводом серии PIglide RLA разработаны для сверхвысокой точности. Они имеют низкий профиль и большую прозрачную апертуру. Каскады RLA обеспечивают превосходную точность перемещения, плоскостность и колебания.
3-фазный моментный двигатель
Бесщеточный
Низкий вращающий момент
Абсолютный энкодер (опция)
Абсолютные энкодеры предоставляют явную информацию о положении, что позволяет сразу же определить его. Поэтому при включении не требуется привязка, что повышает эффективность и безопасность работы.
Принадлежности и опции
Инкрементный или абсолютный энкодер
Фильтр PIglide и комплекты для подготовки воздуха
Одно- или многоосевые контроллеры перемещения и сервоприводы
Многоосевые/настраиваемые установки
Опорные плиты из гранита и системы для снижения вибрации
Области применения
Томография, лучевые линии, метрология пластин, контроль пластин, измерительная техника, системы контроля, калибровка, сканирование.
Благодаря движению без трения не образуются частицы, что делает ступени PIglide идеальными для применения в чистых помещениях.
---