Конденсационный счетчик частиц (CPC) NanoAir™ 10 - это новый революционный продукт от компании Particle Measuring Systems (PMS). Он обеспечивает чувствительность CPC при простоте использования и функциональности традиционного счетчика частиц для чистых помещений. Разработанный для контроля сверхчистых сред, он обеспечивает чувствительность обнаружения 10 нм при скорости потока проб 2,8 л/мин (0,1 CFM).
Размеры NanoAir 10 на 83 % меньше, чем у конкурирующих конденсационных счетчиков частиц, что делает его практичным для использования в любом месте сверхчистой среды, в том числе внутри полупроводниковых технологических инструментов и фронтальных модулей оборудования (EFEM). Инновационная конструкция системы подачи рабочей жидкости, защищенная патентом, надежна и эффективна, что обеспечивает непрерывную работу в режиме 24/7, 365 дней без необходимости технического обслуживания или какого-либо вмешательства пользователя между ежегодным пополнением рабочей жидкости и калибровкой. Таким образом, сокращаются перерывы в отборе проб и сборе данных, а также время простоя инструмента.
Сопутствующий продукт с 10-портовым коллектором (ParticleSeeker™) поддерживает приложения, в которых требуется последовательный или запрограммированный мониторинг нескольких мест отбора проб.
Кроме того, конденсационный счетчик частиц NanoAir совместим с газом высокого давления HPD-III от PMS, а данные можно просматривать, анализировать и сообщать с помощью программного обеспечения для мониторинга объектов PMS Facility Net или передавать непосредственно в системы SCADA сторонних производителей или на входы технологических инструментов.
Компания Particle Measuring Systems разрабатывает, производит, устанавливает, калибрует, ремонтирует и обслуживает конденсационный счетчик частиц NanoAir™ 10 и многопортовый пробоотборник аэрозолей ParticleSeekerTM Услуги по установке, ремонту и обслуживанию.
---