Регулятор давления для газов SMSQ2Micro series

с диафрагмойодноуровневыйиз латуни

Серии SMSQ2Micro и SMSQ2Micro130E представляют собой самые передовые на рынке миниатюрные регуляторы давления для сверхвысокого давления (UHP). Эти серии обеспечивают чрезвычайно точное и надежное регулирование давления, что повышает эффективность работы регуляторов массового расхода (MFC), имеющих решающее значение для повторяемости и выхода продукции при производстве полупроводников. Кроме того, эти серии отличаются превосходной герметичностью и низким уровнем образования частиц, что также крайне важно для применения в полупроводниковой промышленности. Регуляторы подходят для использования как с инертными, так и с коррозионными газами и обеспечивают исключительную скорость отклика на скачкообразные изменения требуемого расхода. В конструкции серии используется уникальная самоцентрирующаяся система со связанной мембраной, которая обеспечивает надёжное уплотнение седла и регулирование давления. Образование и удержание частиц сведено к минимуму за счет отказа от пружины тарелки и резьбы фиксации седла, что дополнительно повышает чистоту технологического процесса и эффективность продувки. Контакты с рабочей средой серии SMSQ2Micro изготовлены из специальных металлов, обеспечивающих исключительную коррозионную стойкость, герметичность и максимальный ресурс при входном давлении до 250 psig. Корпус имеет внутреннюю электрополировку и изготовлен из запатентованной компанией Parker Veriflo нержавеющей стали Vericlean™ 316L, которая превосходит требования к материалам по стандарту Semi F20; каждая мембрана и тарелка изготовлены из Hastelloy C-22®, а каждое седло доступно в исполнении из PCTFE или Vespel®. Оба клапана — SMSQ2Micro и SMSQ2Micro130E — отличаются компактной конструкцией для поверхностного монтажа в соответствии со спецификациями SEMI Modular Interface и доступны в конфигурациях с уплотнением типа «C» и «W».