Термально-массовый регулятор расхода II

для газадля азотаиз нержавеющей стали

Обзор
Регулятор массового расхода Series II Standard обеспечивает точное измерение и регулирование в широком диапазоне расходов (0,014 sccm–1 670 slpm). Предназначен для промышленных и лабораторных применений, поддерживает мультигазовые и мульдиапазонные конфигурации, выбранные интерфейсы связи и влажные детали из 316L устойчивой к коррозии стали.

Ключевые особенности

• Диапазон расхода: 0,014 sccm–1 670 slpm
• Высокая точность: ±0,5% показания + ±0,1% ПП (зависит от диапазона)
• Коэффициент turndown: 1:50 (до 1:187,5 в цифровом режиме)
• Материал влажных частей/корпус: 316L нерж. сталь; шероховатость ≈ 0,8 µm
• Связь: аналоговая или цифровая (RS-232, DeviceNet, Profibus-DP, Modbus-RTU)
• Варианты клапана: нормально открытый или нормально закрытый

Технические характеристики

• Макс. расход: до 1 670 L/min
• Диапазон регулирования давления: 928 PSIA – 1 450 PSIA
• Типы подключения: Compression, Face-Seal Male, другие; размеры 1/8"–1/2" (6 mm–20 mm)
• Материалы уплотнений: EPDM, Kalrez, Viton (стандарт)
• Детали точности: ±0,5% показания + ±0,1% полной шкалы (±1% ПШ для 3–5 ml/min; ±2% ПШ для <3 ml/min)
• Повторяемость: < 0,2% показания
• Время установления: 2–4 секунды (стандарт)
• Стабильность управления: < ±0,1% ПШ (типично при 1 L/min N2)
• Рабочая температура: -10 °C до 70 °C
• Температурный коэффициент: ноль < 0,05% ПШ/°C; span < 0,05% показания/°C
• Давлениевый коэффициент: ~0,1 ATM (N2); ~0,01%/ATM (H2)
• Утечка: менее 2 x 10-9 mbar·L/s He (тестировано)
• Прогрев: 30 мин для оптимальной точности; 2 мин для ±2% ПШ
• Степень защиты: IP40
• Питание: +15–24 Vdc, макс. потребление 320 mA (плюс 50 mA для Profibus)
• Электрическое соединение: D-разъем на 9 контактов

Применение

• Подача и смешение газов
• Процессы полупроводников и НИОКР
• Аналитическая аппаратура и калибровка
• Промышленное управление процессами и пилотные установки

Информация для заказа

• Укажите диапазон расхода, калибровочный газ, тип/размер подключения, материал уплотнения и состояние клапана
• Выберите опцию связи (аналог, RS-232, DeviceNet, Profibus, Modbus)
• Аксессуары: монтажные кронштейны, сертификаты калибровки, интерфейсные кабели