Прибор для измерения плоскостности FLATSCAN
поверхностиоптический

прибор для измерения плоскостности
прибор для измерения плоскостности
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Измеряемая величина
плоскостности, поверхности
Технология
оптический

Описание

Бесконтактное автоматическое 2D- или 3D-измерение кривизны основы, носа, наклона и поверхности с программным модулем для расчета напряжений тонких пленок (напряжений пластин) пластин и стеклянных подложек. Применение FLATSCAN служит для бесконтактного измерения плоскостности, волнистости, среднего радиуса и напряжения тонких пленок всех типов отражающих поверхностей, таких как кремниевые пластины, зеркала, рентгеновские зеркала (зеркала козла), металлические поверхности или полированные полимеры. Оптический принцип измерения обеспечивает высокую точность. Он основан на измерении угла отражения падающего перпендикулярного лазерного луча вдоль линии с постоянной шириной шага. Форма поверхности может быть рассчитана точно по изменению угла отражения между точками измерения. Для некоторых применений интересен сам угол отражения. Поэтому программное обеспечение дополнительно предлагает эту опцию измерения. Для применения в полупроводниковой технологии напряжение тонкой пленки в покрытиях может быть рассчитано по измеренным радиусам до и после нанесения покрытия. Большое измерительное поле Особенностью используемого принципа измерения является его несмещение от измерительного поля. Поэтому стандартный диаметр измерительного поля 200 мм может быть увеличен практически произвольно без снижения точности. Высокая точность измерения FLATSCAN отличается высокой точностью измерений. Разрешение измерительных систем составляет 0,1 дугсекунды. Воспроизводимость формы поверхности составляет 100 нм.

---

ВИДЕО

Каталоги

* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.