Профиль алюминиевый сплав OAVCB6060

с прямоугольным сечением

Пневматическая несущая шина OAV выпускается с профильным дизайном для легкой модернизации существующих или разработки новых приложений. Он создает равномерно распределенную пленку газа между поверхностью и основанием. Благодаря низкой вязкости газа потери на трение при вязком сдвиге позволяют избежать механического контакта. Сочетание давления воздуха и вакуума позволяет несущей планке удерживать подложку и одновременно поднимать ее с поверхности, обеспечивая предельную точность и высоту полета. Диапазон высоты разлета от 20 до 120 мкм поддерживает стабильность ±5 мкм. Размер - 1250 мм OAV Air Bar Входное давление - 20,0 фунтов на квадратный дюйм (137 кПа) Входное макс. Давление - 40,0 фунтов на квадратный дюйм (275,7 кПа) Высота мушки - 80 микрон (0,0032 дюйма) Диапазон высоты мушки - 20 - 120 микрон (0,0008 - 0,0047 дюйма) Жесткость - 0,04 Н/микрон Стабильность высоты - ±5 микрон Скорость потока - 0,63 SCFM Вакуумный поток - 0,43SCFM Ширина воздушной шины OAV Air Bearing - 60 мм OAV Air Bearing Высота воздушной шины - 57 мм Длина воздушной шины OAV Air Bearing - 1250 мм Материал/отделка корпуса - Алюминиевый сплав A6N01SS-T5 / синее анодирование Материал пористой среды - углерод Плоскостность - 0,025 мм (0,001 дюйма) Вес - 2,13 кг (4,7 фунта)