Автоматическая система совмещения 6000

Модель 6000 Полностью автоматизированный выравниватель масок с лицевой или обратной стороны для производства Для: Полупроводники, МЭМС, датчики, микрофлюидика, IOT, упаковка Имея более 4 десятилетий опыта производства в полупроводниковой промышленности, компания OAI отвечает на растущие вызовы динамичного рынка новым элитным классом производственного фотолитографического оборудования. Построенная на основе надежной модульной платформы OAI, серия 6000 имеет выравнивание с лицевой или обратной стороны, полностью автоматизированное с субмикронным разрешением, что обеспечивает производительность, не имеющую себе равных по любой цене. Выравниватели имеют усовершенствованную оптику луча с равномерностью более ±3% и производительностью 180 пластин в час в режиме первой маски, что обеспечивает более высокий выход продукции. Серия 6000 может обрабатывать широкий спектр подложек: толстые и склеенные подложки (до 7000 микрон), деформированные подложки (до 7 мм-10 мм), тонкие подложки (толщиной до 100 микрон) и толстые фоторезисты. Благодаря превосходной повторяемости процесса серия 6000 является идеальным решением для любых производственных условий. Вы можете выбрать выравнивание по лицевой или обратной стороне, для чего используется специализированное программное обеспечение OAI для распознавания образов на базе Cognex. Для полного процесса литографии Seriesl 6000 может быть легко интегрирован с кластерными инструментами. Новые производственные выравниватели масок OAI - это полный пакет услуг. ВЫСОКО ОПТИМИЗИРОВАННЫЕ ДВИГАТЕЛИ 200 WPH в режиме 1-й маски Передовая оптика пучка с равномерностью более ±3% ШИРОКИЙ РАЗНООБРАЗИЕ РАБОТЫ С ПОДЛОЖКАМИ, включая толстые и склеенные подложки и деформированные подложки ВЫРАВНИВАНИЕ ЗА СЧЕТ ЭФФЕКТА КЛИНА ПРЕВОСХОДНАЯ ПОВТОРЯЕМОСТЬ ПРОЦЕССА СУБМИКРОННОЕ РАЗРЕШЕНИЕ ДИСТАНЦИОННАЯ ДИАГНОСТИКА