Q-MACS Process MC - это портативная система мониторинга для измерения промышленных процессов, таких как травление, осаждение и азотирование плазмы, в режиме реального времени. Она основана на проверенной технологии Q-MACS Basic. Эта система измерения in situ использует инфракрасную абсорбционную спектроскопию для измерения абсолютных молекулярных концентраций внутри технологической камеры. Оптическое соединение с технологическим реактором осуществляется через стандартные вакуумные фланцы.
Система с закрытым оптическим трактом
Оснащена от 1 до 4 лазеров
Чувствительность до ppb
Временное разрешение до миллисекунд
В комплект Q-MACS Process MC входит все оборудование и программное обеспечение, необходимое для работы системы.
---