Компания Navitar отреагировала на растущую потребность в дальнейшем расширении пределов разрешения при оптическом контроле, разработав объектив NanoVue 248nm 4X Deep UV Zoom. Оптическая система NanoVue работает в глубоком ультрафиолетовом свете (DUV), позволяя обнаруживать и характеризовать критические дефекты, при этом фактически удваивая предел разрешения обычных микроскопов видимого света.
- Чувствительность контроля 90 нм.
- Диапазон увеличения 75X - 300X в сочетании с объективом 100X.
- FOV от 0,15 до 0,037 мм с матрицей формата 2/3" и объективом 100X.
- Оптический контроль с точностью до 0,1 мкм с использованием объективов Deep UV.
- Единственное в отрасли решение с глубоким УФ-зумом.
Объектив NanoVue Zoom идеально подходит для разработки новых OEM-продуктов и интеграции в приборы DUV, требующие более высокой пропускной способности, позволяя клиентам быстро разрабатывать новые гибкие автоматизированные приборы с широкими функциональными возможностями, более низкой стоимостью и меньшими габаритами.
---