Макс. Температура (°C): 1900
Температура непрерывного использования (°C): 1700
Объем (л): 1
Уровень вакуума: 10^-4 торр
Газовый расходомер: Контроллер массового расхода (количество: 2 для CH4 и H)
Впускные отверстия: KF 25 (общее количество: 2, 1 шт. для вакуума, 1 шт. для впуска инертного газа)
Контроль давления: Датчик давления и датчик вакуума
Предел вакуума: 10^-4 торр Система диффузионного насоса будет интегрирована в печь. После вакуумирования процесс нагрева будет продолжаться с Ar, CH4 и H.
Тип камеры: Вертикальная и цилиндрическая
Нагревательная камера: Усиленная кабина, устойчивая к высокому вакууму.
Нагревательные элементы: Графит
Тепловые экраны: Графит
Чувствительность индикатора температуры: ± 1°C
Контролируемое охлаждение: Возможность быстрого охлаждения отсутствует. Тем не менее, для медленного охлаждения можно регулировать 1 °C / мин.
Тип загрузки: Верхняя загрузка
ЧМИ: ПЛК + сенсорный экран Siemens 9 ̎Touch Screen
---