SEMOZON® AX84410 PRIME - это первый продукт, предлагаемый компанией MKS на платформе нового поколения компактных, высококонцентрированных, высокопроизводительных, сверхчистых генераторов озона. Он оснащен новым элементом и силовой структурой для достижения вдвое большей производительности озона по сравнению с предыдущими моделями с аналогичной площадью основания.
SEMOZON® AX84410 PRIME преобразует кислород в озон посредством бесшумного электрического разряда. Его новая запатентованная конструкция ячеек отвечает новым технологическим требованиям, требующим более высоких концентраций озона при скорости потока до 80 слм. Увеличенный расход и более высокая концентрация обеспечивают генератору AX8410 PRIME соответствие требованиям озона для следующего поколения полупроводниковых процессов.
---