Эти высокоточные датчики давления с длительной стабильностью, изготовленные по технологии «кремний на сапфире» (SOS) или с использованием тензодатчиков, преобразуют давление в электрические сигналы. Подключаясь к различным измерительным приборам, датчики обеспечивают отображение, регистрацию, регулирование и мониторинг давления и т. д.
Особенности
Датчики прямого действия, изготовленные по технологии «кремний на сапфире» (SOS)
В датчиках давления используется тонкопленочная кремниевая пленка (эпитаксиальный рост), нанесенная на сапфировую (монокристаллическую Al₂O₃) подложку. Благодаря этой тонкой кремниевой пленке провода электрического сопротивления кремниевых полупроводниковых тензодатчиков подключаются непосредственно к сапфировой подложке, образуя идеальный датчик, отличающийся исключительной физической и электрической стабильностью. В каждой ракете H-IIA используется около 60 таких датчиков.
Использование тензодатчиков собственного производства
Благодаря использованию тензодатчиков собственного производства, отличающихся длительной стабильностью работы, компания MinebeaMitsumi обеспечивает стабильные поставки высококачественных и высоконадежных датчиков давления.
---