Полуавтоматическая измерительная станция SPS-2 series

вакуумная

Серии SPS-2600-VAC и SPS-2800-VAC - это вакуумные зондовые системы компании MicroXact, предназначенные для моторизованного или полуавтоматического зондирования пластин размером до 100 мм или до 200 мм в вакууме или контролируемой газовой атмосфере. Это решение для вакуумных испытаний отличается систематичностью и точностью, экономичностью, низким уровнем шума и удобством в использовании. Эти вакуумные зондовые системы построены на виброкомпенсированной универсальной платформе, которую можно настроить для решения широкого спектра задач. Вакуумные измерительные системы MicroXact идеально подходят для испытаний без обледенения при температурах до 77 К или для высокотемпературных испытаний устройств и компонентов, склонных к окислению. Особенности вакуумной зондовой станции - Стандартная повторяемость/разрешение (+/-7 мм/1,5 мм) и высокая повторяемость/разрешение (лучше 2 мм/100 нм) по X и Y. - Доступны ручные или моторизованные тета-степени. - Имеются кронштейны зонда с внешней ручной регулировкой микроманипулятора. - Доступны термопатроны с охлаждением жидким азотом для проведения испытаний при температурах до жидкого азота. - Стандартная конфигурация включает 7:1X зум-трубку для разрешения более 4 мкм. 12.также доступны зум-объективы 5:1 и 16:1. С помощью специальной конструкции верхней крышки можно устанавливать составные микроскопы высокого разрешения. - Эффективная виброизоляция от вибраций вакуумного насоса. - Программное обеспечение для автоматизации XactTest™ с возможностью автоматического контроля давления.