Гексафторид серы по-прежнему незаменим во многих областях применения в качестве трассирующего, защитного или изолирующего газа. Из-за высокого парникового эффекта SF6 ответственное обращение с этим газом становится еще более важным. Датчик MicroFLOW SF6.100 Vol.-% подходит для широкого спектра ответственных применений, требующих точности и надежности.
ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ
Промышленность: SF6 используется в процессах плазменного травления для создания точных рисунков на полупроводниковых материалах, таких как кремний, диоксид кремния и другие соединения. Газ используется в специальных камерах для травления, где он преобразуется в плазму под действием высокочастотной энергии. Затем эта плазма вступает в избирательную реакцию с материалом и обеспечивает точную гравировку или удаление материалов в очень контролируемом и точном процессе.
При производстве алюминия гексафторид серы используется в качестве трассирующего газа для повышения эффективности производственного процесса и выявления потенциальных проблем на ранней стадии. Он также используется в этой области для контроля качества и консистенции конечного продукта.
Энергетические технологии: В сфере электроснабжения SF6 используется в качестве изоляционного газа и охлаждающей среды в высоковольтных распределительных устройствах и трансформаторах. Измерение содержания гексафторида серы важно для раннего выявления утечек и контроля состояния систем.
ТОЧНОСТЬ ИЗМЕРЕНИЯ
Наш газовый датчик NDIR позволяет достичь точных результатов при измерении и мониторинге гексафторида серы. Благодаря 10-точечной линеаризации максимальное отклонение измеренной концентрации газа составляет менее одного процента во всем диапазоне измерений до 100 процентов по объему.
---