Инфракрасный излучатель JSIR340-4-AL-R-D6.0-0-0

CMOSдля датчика газа

Экономичный инфракрасный излучатель JSIR340-4 оптимизирован для газового анализа NDIR и других инфракрасных измерений, таких как DIR-спектроскопия, ATR-спектроскопия или PAS-спектроскопия. Мембрана ИК-излучателя на основе cmOS достигает температуры мембраны до 800 °C. Он обеспечивает долговременный стабильный выход излучения для промышленных применений для контроля и мониторинга технологических газов, попутных газов при температуре окружающей среды от -20 до 85 °C. Версия в стандартном корпусе TO с колпачком подходит для измерения расстояний до 2 см. МЭМС-чип, используемый в наших ИК-излучателях, состоит из многослойной мембраны с горячей пластиной, содержащей высокотемпературный стабильный металлический слой C-MOSI. Чип излучателя имеет активную площадь 2,2 x 2,2 мм2 и основан на кремниевой подложке с обратно протравленной мембраной. Все тонкопленочные процессы выполнены с использованием стандартных процессов MEMS и материалов, совместимых с cmOS. Активный резистивный слой C-MOSI защищен от старения и воздействия окружающей среды.