Глубинные фильтры Membrane Solutions серии CMPro-M специально разработаны для фильтрации сыпучих суспензий для SDS (системы подачи суспензий). Они изготовлены из полипропиленовой среды с композитной структурой и уникальным дизайном с градированной плотностью, что позволяет им решать задачи фильтрации CMP. Благодаря коническим порам, CMPro-M достигает отличного баланса между превосходной эффективностью удержания агломератов и высокой загрязняющей способностью. Он может эффективно удалять только разрушительные частицы из суспензии CMP, а гранулометрический состав (PSD) действующих частиц суспензии не изменяется после фильтрации. CMPro-M может удовлетворять различным требованиям CMP в различных ситуациях, включая CMP оксидов, STI CMP и CMP металлов.
Характеристики
Градуированная структура фильтра обеспечивает высокую эффективность фильтрации.
Крутые кривые эффективности позволяют значительно повысить скорость фильтрации крупногабаритных частиц, одновременно минимизируя фильтрацию мелких частиц.
Оптимизированный срок службы и низкая стоимость.
Низкое содержание экстрактивных веществ благодаря отсутствию поверхностно-активных веществ и связующих.
---