для условий высокого вакуума до 10^(-6) мбар
площадь основания 15 x 15 мм
Сверхмалые миниатюрные переводные каскады с пьезоэлектрическим инерционным приводом. Вакуумная версия MS15.
Технические данные
Ширина - 15 мм
Высота - 7 мм
Глубина - 15 мм
Макс. Нагрузка (2 оси)
Mx, My, Mz (импульс) - 4 Нсм
Блокирующие силы (Fx, Fy) - 3 Н
Опорная сила (Fz) - 20 Н
Точность наведения
Угол рысканья - 20 угловых секунд
Угол тангажа - 60 угловых секунд
Вертикальное отклонение - 1 мкм
Боковое отклонение - 2 мкм
---