для работы в условиях высокого вакуума до 10^(-6) мбар
площадь основания 25 x 35 мм
Миниатюрные позиционеры xyz с пьезоэлектрическим инерционным приводом. Вакуумная версия модели MX 25.
Технические данные
Ширина - 35 мм
Высота - 18,5 мм
Глубина - 25 мм
Макс. Нагрузка (3 оси)
Mx, My, Mz (импульс) - 1,5 Нсм
Блокирующие силы (Fx, Fy, Fz) - 2 Н
Точность наведения
Угол рысканья - 20 угловых секунд
Угол тангажа - 60 угловых секунд
Вертикальное отклонение - 2 мкм
Боковое отклонение - 2 мкм
---