Wafer XRD 200 - это сверхбыстрая, высокоточная автоматизированная система для сортировки пластин на основе ориентации кристаллов и геометрических параметров пластин с множеством дополнительных опций.
Обзор
Wafer XRD 200 - это полностью автоматизированная высокоскоростная рентгеновская дифракционная платформа для производства и исследования пластин в том виде, в котором вы ее еще не видели.
Wafer XRD 200 предоставляет ключевые данные по целому ряду важных параметров, таких как ориентация и удельное сопротивление кристаллов, геометрические особенности, такие как выемки и плоскости, измерения расстояния и многое другое - всего за несколько секунд. Разработанный для того, чтобы органично вписаться в вашу технологическую линию.
Особенности и преимущества
Сверхбыстрая точность благодаря запатентованной технологии сканирования
Метод требует только одного поворота пластины для сбора всех необходимых данных для полного определения ориентации, что обеспечивает высокую точность при очень малом времени измерения - в пределах нескольких секунд.
Полностью автоматизированная обработка и сортировка
Wafer XRD 200 разработан для оптимизации пропускной способности и производительности. Полная автоматизация обработки и сортировки и подробные средства передачи данных делают его мощным и эффективным элементом вашего процесса контроля качества.
Простота подключения
Мощная автоматизация Wafer XRD 200 совместима с интерфейсами MES и SECS/GEM. Он легко впишется в ваш новый или существующий процесс.
Высокая точность, более глубокое понимание
Поймите свои материалы как никогда раньше благодаря ключевым измерениям Wafer XRD 200. Wafer XRD 200 измеряет:
Ориентацию кристаллов
Положение, глубину и угол раскрытия надреза
Диаметр
Положение и длина плоской части
Удельное сопротивление
Типичное стандартное отклонение наклона (пример: Si 100) для азимутального сканирования составляет <0,003o, минимальное <0,001o.
---