Спектрометр с рентгеновским излучением 2830 ZT

дисперсионная рентгенофлуоресцентная спектроскопия по длине волныдля лабораторийдля измерений

Анализатор пластин 2830 ZT с дисперсионной рентгеновской флуоресценцией по длине волны (WDXRF) предлагает максимальные возможности для измерения толщины и состава пленки. Разработанный специально для полупроводниковой промышленности и индустрии хранения данных, анализатор пластин 2830 ZT позволяет определять состав слоя, толщину, уровень легирующих добавок и однородность поверхности для широкого диапазона пластин размером до 300 мм. Рентгеновская трубка SST-mAX мощностью 4 кВт оснащена революционной технологией ZETA, которая значительно снижает эффект старения рентгеновской трубки. Такие характеристики "новой трубки" сохраняются на протяжении всего срока службы, а в сочетании с высокой чувствительностью технология ZETA обеспечивает быстрый анализ и короткое время измерений на протяжении всего срока службы трубки. Технология ZETA надежно снижает потребность в коррекции дрейфа и повторной калибровке, что повышает производительность и время работы прибора. Максимальное время безотказной работы Обычные рентгеновские трубки страдают от испарения вольфрама, что приводит к образованию отложений на внутренней поверхности бериллиевого окна трубки. Приборы, использующие такие рентгеновские трубки, требуют регулярной коррекции дрейфа для компенсации снижения интенсивности, особенно для легких элементов. Применение трубки SST-mAX в 2830 ZT решает эту проблему дрейфа, тем самым максимально увеличивая время работы и поддерживая точность прибора в течение долгого времени. Простота использования Прибор 2830 ZT поставляется с передовым программным обеспечением SuperQ, включающим пакет программ FP Multi, специально разработанный для многослойного анализа. Пользовательский интерфейс программного обеспечения позволяет даже неопытным операторам проводить полностью автоматизированный анализ фундаментальных параметров многослойных материалов.