Анализатор пластин 2830 ZT, работающий в режиме волновой дисперсионной рентгеновской флуоресценции (WDXRF), предоставляет широчайшие возможности для измерения толщины и состава пленок. Разработанный специально для полупроводниковой промышленности и индустрии хранения данных, анализатор пластин 2830 ZT компании PANalytical позволяет определять состав, толщину, уровень легирующих добавок и однородность поверхности широкого спектра пластин размером до 300 мм.
В рентгеновской трубке SST-mAX мощностью 4 кВт применена революционная технология ZETA, которая значительно снижает эффект старения рентгеновской трубки. Такие характеристики "новой трубки" сохраняются в течение всего срока службы, а высокая чувствительность технологии ZETA обеспечивает быстроту анализа и короткое время измерений в течение всего срока службы трубки. Технология ZETA надежно снижает необходимость в коррекции дрейфа и повторной калибровке, что повышает производительность и время работы прибора.
Максимальное время безотказной работы
Обычные рентгеновские трубки страдают от испарения вольфрама, что приводит к образованию отложений на внутренней поверхности бериллиевого окна трубки. Приборы, использующие такие рентгеновские трубки, требуют регулярной коррекции дрейфа для компенсации уменьшения интенсивности, особенно для легких элементов.
Применение трубки SST-mAX в 2830 ZT решает эту проблему дрейфа, что позволяет максимально продлить время работы прибора и сохранить его точность на протяжении длительного времени.
---