Высокоточная отражательная лазерная шкала с шагом сигнала 250 нм. Идеально подходит для низкопрофильных этапов, оборудования для обратной обработки полупроводников и прецизионных микроскопов
Шаг сигнала : 250 нм
Высокая точность: ±1 мкм / 420 мм
Высокая скорость отклика: 1 800 мм/с
Максимальное разрешение : 3,8 пм
Доступно: с/без опорной точки
Полностью бесконтактная конструкция: Теоретически исключена ошибка возврата.
Шкала: стекло ZERO / бесщелочное стекло
Тонкая головка толщиной 12 мм
Поддержка различных разрешений и режимов вывода (в зависимости от интерполятора, например BD96 или BD700)
Имеются специальные модели, совместимые с вакуумом
---