выращивание кристаллов
Для вакуумного напыления, роста монокристаллов карбида кремния согласно модифицированному методу Лели
Другими областями применения могут быть: синтез сверхчистого сырья карбида кремния
ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ К ИЗДЕЛИЮ
Важные характеристики
Индукционная печь, дизайн - вертикальное положение
Выращивание 4” монокристалла карбида кремния
Средняя частота мощности нагрева 30 кВт
Рабочая частота 8-10 кГц
Технологический газ: азот, аргон, водород, частичная работа под давлением от 5 до 950 мбар
Вакуумплотная/газоплотная камера, водоохлаждаема благодаря конструкции стеклянной трубы
Вакуумная система нагнетания для вакуума 2 x 10-5 мбар с турбомолекулярным насосом (685 л/с)
Сверхчистая изоляция из графита и войлока (очищена галогеном)
Мы делаем возможным
Фирма Linn High Therm – специалист адаптировать свою продукцию согласно желанию клиента. Пожалуйста, сообщите нам, если Вам необходимо видоизменение стандартного предложения. Мы сделаем все, чтобы исполнить Ваше желание.
Возможные стандартные опции
Вращение тигля и трансляция
Пирометр для днища тигля
Аварийное охлаждение водой
Программное обеспечение
Дизайн - загрузка снизу
Циркуляционный охладитель
Обучение выращиванию кристаллов известным немецким научно-исследовательским институтом