Для увеличивая требований к требований например высоких относительно cleanness когда нагнетать высококачественные средства массовой информации которые не должны быть загрязнены другими средствами массовой информации для повторно использовать, часто требует пользы всеобщих насосов где камера насоса свободна работая агентов (сухих насосов). Вакуум Leybold предлагает 2 решения: 1. насосные системы с сухими обжимая вакуумными насосами совмещенными с одним или несколькими вакуумных насосов корней. 2. одиночные или многошаговые насосные системы вакуумного насоса RUTA RAV, состоя из вакуумных насосов корней с охлаждать пре-допущения.
---