Газоразрядные светильники смешанного типа Hg-Xe, состоящие из корпуса светильника со встроенным зажиганием и балластом.
Система ультрафиолетового освещения LEJ Deep UV обеспечивает исключительно стабильное УФ-излучение благодаря низкому тепловому дрейфу и очень стабильному питанию постоянным током от нашего балласта. -
Кроме того, наша система обеспечивает воспроизводимую механическую регулировку лампы, зеркала и коллектора. Таким образом, система LEJ Deep-UV подходит для инспекции полупроводниковых пластин или для освещения при оптическом просмотре и анализе фотомасок, особенно структур и ширины линий на предмет дефектов и изъянов.
Основные характеристики прибора
отсутствие теплового дрейфа
воспроизводимая механическая регулировка
Встроенный высоковольтный поджиг
Функция защитной цепи
Счетчик часов работы
Области применения
Анализ фотомасок
Дезинфекция
УФ-отверждение
---