Машина для нанесения покрытий PVD PVD 75

катодным распылениемтермическим испарениемвакуумная

PRO линия серия PVD – разносторонний брызгать, луч электронов, восходящий поток теплого воздуха, & органическая платформа низложения испарения PRO линия серия PVD использует модульное проектирование конфигурируемое для разнообразие применений низложения тонкого фильма. Доступный в 3 увеличивая размерах камеры: PVD75, PVD200, и PVD500 Доступный с магнетроном Mag Keeper™ UHV TORUS® совместимым круговым брызгая источники в 2", 3", 4" диаметры Доступный с магнетронами TORUS® линейными Доступный с источниками испарения луча электронов Мульти-кармана Доступный со множественными термальными конфигурациями источника испарения До 2 органических источника испарения доступного варианты Мульти-метода доступные. Примеры: Луч электронов + брызгающ, луч электронов + испарение Влажный или сухой грубый нагнетать, насос turbo, или криогенные варианты вачуумного насоса глубокого вакуума насоса доступные Стандартные конфигурации совместимые с до 11" до 20" субстраты OD (в ожидании размера камеры); до топления 850°C, охлаждая, и склоняя варианты доступные Варианты одиночных и мульти-вафли нагрузки замка доступные для субстратов до 6" PRO линия серия инструментов PVD включает пакет предварительным управлением eKLipse™ KJLC новаторский