Термостойкий, высокоэффективный фильтр и наш уникальный охлаждающий блок обеспечивают высокотемпературную выпечку в чистой среде (макс. 530°C (макс. 500°C для модели V)).
Система циркуляции горячего воздуха обеспечивает превосходную равномерность температуры и чистоту воздуха класса 100 (при стабильной температуре).
Данный тип печи оптимален для выпечки полупроводниковых пластин и стеклянных подложек, а также для старения и других видов термообработки, требующих высокой температуры и высокой точности.
Термообработка при остаточной концентрации O2 20 ppm или ниже возможна путем введения в камеру газа азота (N2).
Характеристики
Термостойкий высокоэффективный фильтр и наш уникальный охлаждающий блок установлены для обеспечения высокотемпературной выпечки.
При стабильной температуре внутри камеры поддерживается чистота класса 100.
Имеется два типа вентиляторов горячего воздуха: фронтальный боковой вентилятор с горизонтальной циркуляцией (тип V) и боковой вентилятор (тип III). Оба типа обеспечивают высокую тепловую эффективность и хорошую равномерность температуры.
Оптимальны для выпечки полупроводниковых пластин и стеклянных подложек, старения и других видов термообработки, требующих высокой точности.
В камеры можно вводить инертные газы для использования печей в качестве печей с инертным газом.
---