Печь для отжига CCBS-IR

варочнаяс камеройинфракрасная

Серия CCBS-IR - это печи для очистки с переносом на одну подложку, в которых используется система ИК-нагрева. Они могут выполнять различные виды термообработки крупногабаритных жидкокристаллических (LCD) и органических светодиодов (OLED) вплоть до 10-го поколения. Также доступна демонстрационная модель для обработки IGZO и LTPS (низкотемпературный поликремний) при температуре 500°C. Характеристики Высокий уровень коэффициента чистоты Высокая эффективность нагрева Отличная равномерность температуры Возможность контроля атмосферы Высокий уровень чистоты Чистая структура, не образующая пыли, в сочетании с точным управлением атмосферой печи (получен патент) обеспечивают высокий уровень чистоты. Эти печи также способны обрабатывать массивные подложки, требующие строгого соблюдения чистоты среды. Высокая эффективность нагрева Используется система дальнего инфракрасного (ИК) нагрева с превосходной эффективностью нагрева, способная обеспечить высокоэффективную обработку пленок любой толщины. Она идеально подходит для обработки толстых пленок, таких как выравнивающие слои и пассивирующие пленки. Отличная равномерность температуры Применяемые панельные ИК-нагреватели обеспечивают превосходную равномерность температуры. Они способны равномерно нагревать даже крупногабаритные подложки, например, 10-го поколения. Возможность контроля атмосферы В печь можно подавать азотный газ для проведения термообработки при низкой концентрации кислорода.