- Сверхдинамичное движение
- Непревзойденная точность позиционирования
- Высокая жесткость системы
- Самый низкий уровень выбросов частиц
Высокоскоростная система линейных двигателей была разработана для использования в качестве оси подачи в станках для производства полупроводников для достижения высокой производительности и надежности процесса.
Помимо обычных требований заказчика, таких как подвижная масса, диапазоны перемещения, определение циклов и т. д., необходимо было учесть дополнительные свойства. К ним, например, относятся:
- Чрезвычайно компактная конструкция
- Непревзойденное качество синхронизации (зубчатая передача)
- Отсутствие необходимости в техническом обслуживании
- Быстрый ввод в эксплуатацию
- Абсолютная обратная связь по положению
- Кабельная система для прокладки кабелей по заказу
Высокоскоростная система линейных двигателей была специально разработана для приложений с высокой точностью позиционирования. В ней предусмотрена возможность использования индивидуальной схемы сверления ползуна и опорной плиты для удовлетворения индивидуальных требований. Кроме того, система разработана в версии, совместимой с чистыми помещениями, что позволяет использовать ее в чувствительных средах. Для облегчения начального ввода в эксплуатацию поставляется набор параметров, позволяющий быстро и эффективно ввести систему в эксплуатацию.
- Обработка пластин
- Обработка подложек
- Электронная мобильность
- Медицинская техника
- Лазерная обработка
- Обработка оптических линз
---