Установка для гравировки полупроводниковых пластин Primaxx® Monarch 3

Система травления паром фтористого водорода (VHF) Primaxx® Monarch 3 предназначена для селективного выделения травления с помощью контролируемого процесса травления безводным HF/спиртом. Monarch 3 представляет собой компактный модуль, включающий технологическую камеру на 3 пластины, в том числе полуавтоматический загрузчик на 3 пластины с фиксацией загрузки, и предназначен для исследовательских лабораторий и мелкосерийного производства. Интегрированный панельный ПК со встроенной электроникой минимизирует площадь чистых помещений, а сама система разработана для легкого изменения размера пластин и обслуживания. - Совместимость с пластинами 100-200 мм - Размер партии до 3 пластин - Автономная система - Малая занимаемая площадь включает в себя технологическую камеру, газовую/жидкостную панель и компоненты давления/вакуума