Система контроля 3D Kronos™ 1190XR

ИИавтоматическаядля производства упаковки

Система контроля образцовых пластин Kronos™ 1190XR с оптикой высокого разрешения обеспечивает лучшую в своем классе чувствительность к критическим дефектам для разработки технологических процессов и контроля производства в передовых областях упаковки на уровне пластин (AWLP), включая 3D ИС и высокоплотные веерные выходы (HDFO). DefectWise® интегрирует искусственный интеллект (ИИ) в качестве решения системного уровня, обеспечивая значительное повышение чувствительности, производительности и точности классификации для решения проблем переизбытка и выхода дефектов. Система DesignWise® совершенствует точно нацеленные зоны контроля FlexPoint™ с помощью прямого ввода данных в конструкцию для дальнейшего уменьшения неприятных последствий. Новейшая система Kronos 1190XR обеспечивает расширенный диапазон, позволяя работать с более широким диапазоном толщины пластин. Поддерживая склеенные, истонченные, деформированные и нарезанные кубиками подложки, система обеспечивает экономически эффективный контроль дефектов вплоть до 150 нм на таких критически важных этапах процесса, как обработка после нарезки кубиками, предварительное склеивание, шаблонирование медных площадок, медных столбиков, бампов, сквозных кремниевых каналов (TSV) и перераспределительных слоев (RDL). Области применения Обнаружение дефектов, отладка процесса, мониторинг процесса, мониторинг инструмента, исходящий контроль качества (OQC) Технология контроля Kronos также доступна в качестве модуля в кластерном инструменте для контроля дефектов, метрологии и анализа CIRCL-AP, предназначенном для измерений всей поверхности пластин с лицевой, обратной и краевой стороны.