Обзор продукта:CellaCrystal PX 64 — инфракрасный пирометр, предназначенный для измерения температуры в процессах CVD (chemical vapour deposition). Специальная длина волны делает его пригодным также для плазмоподдерживаемого осаждения паров и других требовательных задач в области тонких пленок.
Ключевые особенности:- Диапазон измерений: 500–1400 °C
- Разработан для измерений в plasma-assisted CVD
- Непрерывный двухцветный принцип измерения
- Отсутствие вращающихся фильтров
- Минимальное саморазогревание для высокой долгосрочной стабильности
- Фокусируемый объектив для точной установки расстояния измерения (PZ 20.03)
- Стандартные интерфейсы: IO-Link и аналоговый выход (0(4)–20 мА)
- Опции: встроенная видеокамера и лазерный прицел
Технические характеристики:- Диапазон измерений: 500 - 1400 °C
- Фокусное расстояние: 0,2 - 0,4 м
- Варианты прицеливания: через объектив, лазерный указатель, видеокамера (опция)
- Форма измеряемого поля: круглая
- Коэффициент дистанция/пятно (D:S): 75 : 1
- Объектив: PZ 20.03 (макро)
- Принцип измерения: двухцветный (двойной фотодиод)
- Спектральный диапазон: 1,50 / 1,90 μm
- Время отклика t98: ≤ 30 ms
- Неопределённость измерения: 0,75 % от показания (°C), мин. 4 K
- Повторяемость: 2 K
- Температурный коэффициент: 0,05 %/K
- Разрешение токоового выхода: 0,2 K + 0,03 % выбранного диапазона
- Разрешение интерфейса: 0,1 K; разрешение дисплея: 1 K
- Аналоговый выход: 0(4) - 20 mA, линейный, переключаемый, масштабируемый; сопротивление ≤ 500 Ω
- Коммутационные выходы: 2 × open collector 24 V DC, ≤ 150 mA
- Интерфейс: IO-Link
- Питание: 24 V DC ±10 %; потребление ≤ 175 mA (24 V DC)
- Камера (опция): композитный PAL видеовыход, 1 Vpp, 75 Ω
- Дисплей: 4-значный красный LED, высота цифр 8 мм; индикаторы состояния: 4 × LED; элементы управления: 3 кнопки
- Соединение: M12, 5-пин
- Температура окружающей среды: 0 - 65 °C; хранение: -20 - +80 °C
- Допустимая влажность: 95 % относ. вол. макс. (без конденсации)
- Габариты: Ø 65 mm × 220 mm (макс. 277 mm)
- Корпус: нержавеющая сталь V2A (1.4305)
- Класс защиты: IP 65 (DIN 40050)
- Вес: ок. 0,9 kg
- Настраиваемые параметры: масштабирование аналогового выхода, фильтр сглаживания, режим памяти и время удержания, эмиссионность, пропускание, пределы и режимы сигнализации, параметры ATD, симуляция тока/температуры, единицы °C/°F, выбор канала измерения (двухцветный, одноканальный 1/2), порог контроля загрязнения; для моделей с камерой дополнительно: TBC, баланс белого, выбор измерительной точки
- Функции: сигнал о перегреве (внутренняя температура > 75 °C), сервисная функция (симуляция измеряемого значения или тока), ATD (автоматическое обнаружение температуры) для прерывистых процессов
Комплектация:- Пирометр CellaCrystal PX 64
- Соединительный кабель VK 02/L AF 1 (5 m)
- Видеокабель VK 02/F (5 m) для моделей с встроенной камерой
- Краткое руководство
Области применения:- Мониторинг и управление температурой в CVD и плазмоподдерживаемых процессах
- Процессы нанесения тонких пленок в промышленном производстве
- Исследования и разработки в области технологий покрытий