Общее описание продукта:CellaWafer PA 38 — цифровой пирометр для бесконтактного измерения температуры пластин (wafer) и металлов в диапазоне 450–1800 °C. Очень коротковолновая, узкополосная спектральная характеристика делает прибор идеальным для процессов обработки кремниевых пластин (например, RTP) и для металлов, таких как вольфрам и молибден. Конструкция снижает чувствительность к изменениям излучательной способности объекта, обеспечивая более стабильные показания в условиях производства.
Особенности:- Диапазон измерений 450–1800 °C
- Фокусируемые сменные объективы для точной настройки дистанции измерения
- Широкополосные антибликовые прецизионные оптики
- Коротковолновой, узкополосный спектральный диапазон (0,88 µm)
- Оптимизирован для точных измерений на кремниевых пластинах и металлах
- 4‑значный светодиодный дисплей, читаемый с большого расстояния
- Выход тестового тока для диагностических функций
- Стандартные интерфейсы: аналоговый выход, USB и RS‑485
Выбираемые параметры / типовая конфигурация:- Диапазон измерений: 450 – 1800 °C
- Примеры фокусных расстояний: 0,3 м – ∞ (в зависимости от объектива)
- Варианты прицеливания: через объектив / встроенная видеокамера / лазерный указатель
- Пример исполнения: CellaWafer PA 38 AF 10
Комплект поставки (типично):- Пирометр CellaWafer PA 38
- Соединительный кабель VK 02/A (5 м)
- Видеокабель VK 02/F (5 м) для моделей с встроенной камерой
- USB‑кабель VK 11/D (1,8 м)
- Программное обеспечение CellaView
- Краткое руководство
Примечания / инструменты на странице продукта:- Калькулятор измерительного поля (диаметры пятна в зависимости от расстояния)
- Калькулятор эмиссии и функции настройки эмиссии
- Видеодемонстрация функции камеры
Технические характеристики (выборка):- Артикул: 1124957
- PGB №: 500
- Принцип измерения: одноцветный (one‑colour)
- Диапазон измерений: 450 – 1800 °C
- Спектральный диапазон: 0,88 µm
- Датчик: фотодиод
- Время отклика t98: ≤ 50 ms (T > 650 °C); ≤ 2 ms (T > 850 °C)
- Погрешность измерения: 0,3 % от показания, мин. 4 K
- Повторяемость: 1 K
- Коэффициент расстояния (D:S): 60 : 1
- Форма измерительного поля: круглая
- Пример объектива: PA 20.08 (напр., F50 PZ 20.08 — фокус 0,3 m – ∞)
- Аналоговый выход: 0(4) – 20 mA, линейный, переключаемый, масштабируемый; R ≤ 500 Ω
- Аналоговый вход: 0 – 10 V
- Коммутируемые выходы: 2 × Open Collector 24 V DC, ≤ 30 mA
- Коммутируемые входы: 2 × до 24 V
- Интерфейсы: USB, RS‑485
- Питание: 24 V DC (+10 % / −20 %); потребление ≤ 175 mA
- Видео выход (опция камеры): композитный PAL
- Дисплей: 4‑значный красный LED, высота цифр 8 mm; индикация состояния: 2 × LED; органы управления: 3 кнопки
- Разъём: M12, 8‑контактный
- Температура окружающей среды (эксплуатация): 0 – 65 °C; хранение: −20 – +80 °C
- Допустимая влажность: макс. 95 % относит. (без конденсации)
- Корпус: нержавеющая сталь V2A (1.4305); степень защиты: IP65
- Размеры: Ø 65 mm × 220 mm (макс. 277 mm); масса: ок. 0.9 kg
- Настраиваемые параметры (примеры): диапазон измерений, шкала аналого‑вход/выход, сглаживающий фильтр, эмиссия/пропускание, компенсация отражённой окружающей радиации, пределы сигнализации, линеаризация, поведение LED, режимы симуляции, единицы °C/°F; модели с камерой: TBC, баланс белого
- Функции (примеры): сигнал по перегреву (аналоговый выход > 20.5 mA при внутренней t > 80 °C), сервисная симуляция значения/тока, ATD (Automatic Temperature Detection) для прерывистых процессов
- Программное обеспечение: CellaView