Оборудование для вертикального напыления большой площади
・Диапазон эффективного формирования пленки
300 мм × 100 мм
・Конфигурация оборудования
Вертикальная камера напыления с катодом RAM
・・Материалы для пленок
TCO (ITO и т.д.) / Металлы (Cu и т.д.) / Оксиды металлов (NiO и т.д.) / C (DLC) / Другие
---