Система для маркировки лазер

автоматическаядля полупроводниковой пластиныстекла

Обзор продукта
Полностью автоматическое высокоточное оборудование для лазерной маркировки JPT предназначено для автоматизированной, точной маркировки на стекле, смоле и вэйферах. Система объединяет ультрафиолетовый пикосекундный лазер JPT, галванометр и оптику фокусировки для получения тонких, повторяемых меток с минимальным тепловым воздействием.

Ключевые преимущества

• Широкая совместимость вэйферов: поддерживает 4", 6", 8" и 12" (настраиваемо) для разных этапов процесса.
• Автоматическая двусторонняя обработка: автоматическое распознавание и маркировка с лицевой и тыльной сторон для оптимизации рабочих процессов.
• Автоматизированная подача и выгрузка: модули LoadPort/SMIF, поисковый датчик кромки и роботизированные манипуляторы обеспечивают непрерывную работу с минимальным вмешательством оператора.
• Ультрабыстрая маркировка в ультрафиолетовых пикосекундах: четкие метки с минимальной зоной термического воздействия, сохранение целостности и выхода годных вэйферов.
• Модульная и масштабируемая конструкция: модули машины поддерживают расширение функций и интеграцию в производственные линии.

Технические характеристики

• Источник лазера: ультрафиолетовый пикосекундный
• Мощность лазера: 5W / 10W
• Охлаждение: водяное охлаждение с постоянной температурой
• Качество пучка: M2 < 1.3
• Фокусировка: сканирование галванометра
• Размер фокусного пятна: < 10 μm
• Максимальная скорость обработки: 1000 mm/s
• Точность обработки: ±20 μm
• Точность позиционирования: ±5 μm
• Поддерживаемые размеры изделий: 4", 6", 8", 12" (настраиваемо)
• Пропускная способность (UPH): 35–50 шт./час
• Габариты оборудования (Д×Ш×В): 1710 × 2200 × 2200 mm
• Программное обеспечение управления: JPT

Области применения и отрасли

• Производство полупроводников и вэйферов (3C электроника)
• Маркировка стеклянных и смоляных компонентов
• Автоматизированные производственные линии с требованиями трассируемости

Автоматизация и интеграция

• Интерфейсы LoadPort/SMIF и интеграция в фабричную автоматизацию
• Обнаружение кромки и автоматическое выравнивание для надежного позиционирования
• Модульная компоновка для работы в линии или автономно